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微波等離子體清洗機是一種利用微波能量產生等離子體來對物體表面進行清洗的先進設備，可去除有機物、光刻膠、無機物、氧化層等多種污染物，可對硅晶圓、金PAD、鋁PAD等表面進行清洗，該清洗機具有操作方便、效率高、表面干凈、無劃傷、有利于確保產品質量等優點。清洗過程中不產生空氣污染,也沒有廢液、廢渣產生,是真正的節約能源,降低成本。